内衬
应用于ETCH反应腔内，与机台等离子体直接接触的核心工艺部件，主要在等离子体刻蚀环境中起到侧壁防护作用
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产品特点
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相关方案
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质量管理
产品特点
使用外壁阳极氧化
内壁高纯钇基涂层做防护，提高产品寿命
使用等离子喷涂技术做高纯钇基涂层
具备极高的化学稳定性及耐酸碱耐电压耐等离子腐蚀的涂层表面技术做防护，使得部件与等离子体直接接触
高耐腐蚀
高耐腐蚀的设备零部件是芯片制程设备的功能需求，零件的耐腐蚀性能决定了设备的功能性、可靠性、和设备在线停机维护的频次高低。
质量管理
富创质量管理秉承"好的质量是设计、制造出来的"为原则,关注客户端到端的质量服务,从研发、设计、过程全生命周期质量管理关注各环节中入口质量、过程质量、出口质量,以保证整体质量可控,最终构建成以以预防为主的质量文化,助力客户产品更具竞争力。
