传输腔模组
传输腔模组应用于刻蚀和薄膜沉积等真空环境制程设备，核心作用在装载模块和反应模块间传送晶圆。
公司的传输腔模组整体性能要求均通过国际主流客户认证，利用精密加工技术和超洁净清洗技术结合装配及测试技术来保证传输腔模组的洁净度和密封性，运动型等要求。
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产品特点
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产品参数
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相关方案
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质量管理
产品特点
高精密复杂组装技术
模组产品需要完成密封组装、电气组装、运动部件组装
高密封性
传输腔模组用途主要是用于将晶圆从装载模块与反应模块间传输
密封性是确保晶圆质量的关键因素
高洁净度
高洁净的设备零部件是晶圆工艺制程得到良品率的基础
制程设备的洁净度直接决定了在制晶圆及后续芯片的良品率，甚至决定了整条生产线是否有合格品产出
产品参数
| 组成 | 工艺零部件、结构零部件、管路器件、标准件 |
| 漏率 | 1*10-9torr*l/s |
| 洁净度 | 关键部件LPC液态粒子检测、ICPMS金属元素检测、荧光检测 |
质量管理
富创质量管理秉承"好的质量是设计、制造出来的"为原则,关注客户端到端的质量服务,从研发、设计、过程全生命周期质量管理关注各环节中入口质量、过程质量、出口质量,以保证整体质量可控,最终构建成以以预防为主的质量文化,助力客户产品更具竞争力。
