Pumping plate
PUMP是关键部件之一，有助于CVD化学气相沉积等核心制程的稳定性提高及能耗降低，气体均匀性直接影响晶圆制程反应。
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产品特点
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产品参数
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相关方案
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质量管理
产品特点
高精密
高精尺寸的设备零件是半导体芯片特别是纳米级芯片制造的基础
零部件精度直接决定了晶圆制程设备的精度以及其各道工艺处理功能的实现
高洁净度
高洁净的设备零部件是晶圆工艺制程得到良品率的基础
制程设备的洁净度直接决定了在制晶圆及后续芯片的良品率，甚至决定了整条生产线是否有合格品产出
气体流量均匀性
气体浏览量的高精均匀性和高稳定性
可以保证制程稳定性和加工质量，从而提高半导体产品的可靠性和一致性
产品参数
| 材料 | 铝合金 |
| 连接方式 | 电子束焊接 |
质量管理
富创质量管理秉承"好的质量是设计、制造出来的"为原则,关注客户端到端的质量服务,从研发、设计、过程全生命周期质量管理关注各环节中入口质量、过程质量、出口质量,以保证整体质量可控,最终构建成以以预防为主的质量文化,助力客户产品更具竞争力。
