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不锈钢超高光洁度制造技术
  • 技术简介
  • 技术特点
  • 应用场景
  • 核心指标

不锈钢超高光洁度
制造技术

应用自主设计刀具通过钻、铣、铰等精密加工技术,使流道、功能面&密封面实现高面粗度、高硬度的性能要求。

应用不锈钢镜面抛光技术,在机械加工的基础上进一步提高流道面粗度,实现高质量、高效率的复杂工位镜面抛光。

产品流道内表面粗糙度满足SEMI标准的同时可达主流国际客户的更高标准,实现气体流通最小湍流、紊流,满足气体传输的快速反应与耐腐蚀要求。

咨询专家
不锈钢超高光洁度制造技术

技术特点

面粗度

流道Ra<0.1μm
Seal密封面Ra<0.1

01

平面度

<0.02mm

02

Seal密封面硬度

>300HV

03

应用场景

阀门、流量计、压力计等部件的底座Block,气体传输集成块Manifold 标准通气基座以及气体传输 系统常用的连接接头

阀门、流量计、压力计等部件的底座Block,气体传输集成块Manifold 标准通气基座以及气体传输 系统常用的连接接头

核心指标

“粗糙度”

“耐腐蚀性”

“密封性”

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